特許
J-GLOBAL ID：201503016668537542
テープ状パターン媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-531090
特許番号：特許第5796151号
出願日： 2012年08月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 フィルム基材表面に、前記フィルム基材を透過する波長の紫外光線に対して吸収を有する光重合開始剤が含有された紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線硬化樹脂層を形成する塗布工程と、
前記紫外線硬化樹脂層をロール状のマスタースタンパ型に密着させ、前記マスタースタンパ型の凹凸パターンに対応する凹凸パターンを前記紫外線硬化樹脂層に形成するパターン形成工程と、
周囲の酸素を除いた状態で、前記凹凸パターンが形成された紫外線硬化樹脂層に前記紫外光線を照射し、前記紫外線硬化樹脂層を硬化する照射工程とを備え、
前記フィルム基材は、320nm以上の波長の光に対して80%以上の透過率を有し、
前記光重合開始剤は、310nm〜400nmにおいて光吸収帯を有し、オキシムエステル系およびα-アミノケトン系の少なくとも一方を含む、
テープ状パターン媒体の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/04 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/04 Z
