搬送システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：黒岩久人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-003906
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142040
特許番号：特許第5765815号
出願日： 2012年01月12日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1室と、当該第1室と仕切壁で仕切られてかつ前記第1室よりも室圧が低い第2室について、前記第1室から前記第2室に搬送対象物を搬送する搬送システムであって、前記仕切壁には、開口が設けられ、前記第1室から前記開口を通って第2室まで延びてかつ搬送面に載置された搬送対象物を搬送する搬送装置と、当該搬送装置の前記開口から前記第2室側の部分の搬送面を覆うカバー部材と、を備え、前記カバー部材は、前記搬送装置に沿って延びて下面が開放された筒状のカバー部材本体と、当該カバー部材本体の上面に設けられて前記開口から前記第2室側に吹き出す気流を前記カバー部材本体の内部に導入するガイド部と、を備えることを特徴とする搬送システム。

IPC (2件)：