特許
J-GLOBAL ID:201503016890936349
凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤からの研磨剤のリサイクル方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
特許業務法人 津国
, 津国 肇
, 柳橋 泰雄
, 伊藤 佐保子
, 小澤 圭子
, 安藤 雅俊
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012075970
公開番号(公開出願番号):WO2013-051700
出願日: 2012年10月05日
公開日(公表日): 2013年04月11日
要約:
凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤から、珪素成分やアルミニウム成分の除去率が高く、使用前の新品の研磨剤と同等の研磨性能を有する研磨剤を簡便にリサイクルする方法を提供すること。 凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤からの研磨剤のリサイクル方法であって、凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤のスラリーのpHを10.0〜14.0の範囲に調整する工程、その後当該スラリーのpHを1.0〜3.0の範囲に調整すること含む方法。
請求項(抜粋):
凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤からの研磨剤のリサイクル方法であって、凝集剤を含む使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤のスラリーのpHを10.0〜14.0の範囲に調整する工程、その後当該スラリーのpHを1.0〜3.0の範囲に調整する工程を含むことを特徴とする研磨剤のリサイクル方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
3C047FF08
, 3C047GG13
, 3C047GG15
, 3C047GG17
, 3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CA06
, 3C058DA02
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