パワーサイクル試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-159274
公開番号（公開出願番号）：特開2014-020893
特許番号：特許第5731448号
出願日： 2012年07月18日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試験用パワー半導体素子にストレス電流を所定のON/OFF周期で印加して熱ストレスを付与することで、当該試験用パワー半導体素子のパワーサイクル試験を行うパワーサイクル試験装置であって、前記試験用パワー半導体素子に電流を印加する電流源と、前記試験用パワー半導体素子の外部環境温度を変える装置と、前記パワーサイクル試験装置を制御する制御部と、を具備し、前記制御部は、前記外部環境温度を変える装置を用いて前記ON/OFF周期よりも長い温度上昇下降周期でサーマルサイクル試験を実行し、前記サーマルサイクル試験を実行しながら、当該サーマルサイクル試験の実行位相に合わせて、前記パワーサイクル試験を実行する、パワーサイクル試験装置。

IPC (1件)：