特許
J-GLOBAL ID：201503017285576478
基板処理装置の管理方法および管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-040960
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179109
特許番号：特許第5813530号
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板処理装置の部品交換を管理する基板処理装置の管理方法であって、
基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を前記障害対応作業にて先行して交換することによって当該部品を利用できなくなった分の損失として生じるコスト増加額を算定するコスト増加算定工程と、
前記定期保守計画を実施しなかった場合に基板処理装置のシャットダウンおよび起動の回数を減らしたことによる利得として得られるコスト減少額を算定するコスト減少算定工程と、
前記コスト増加算定工程で算定されたコスト増加額と前記コスト減少算定工程で算定されたコスト減少額とを比較する比較工程と、
前記比較工程での比較結果を出力する出力工程と、
を備えることを特徴とする基板処理装置の管理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, G05B 19/418 Z
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
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