特許
J-GLOBAL ID：201503017336642551

電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置

発明者：
佐々木 理順

佐々木 理順 について

, 
堀田 哲広

堀田 哲広 について

, 
津吉 淳弘

津吉 淳弘 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  三上 敬史 ,  石坂 泰紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-165715
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025108
特許番号：特許第5821797号
出願日： 2012年07月26日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液状のポリアルキレングリコール・オイルが貯留されている槽内に、前記ポリアルキレングリコール・オイルの液面を超えないように溶融状態の5元系はんだを噴き出す第1の工程と、 少なくとも銅が外部に露出している下地電極が表面に配置された電子部品の前駆体を、前記ポリアルキレングリコール・オイルの液内に入れる第2の工程と、 前記前駆体が前記ポリアルキレングリコール・オイルの液内に位置する状態で前記5元系はんだを前記下地電極に接触させて、前記下地電極上にはんだ層を形成する第3の工程とを含み、 前記前駆体はウエハ形状を呈し、 前記下地電極は前記前駆体の一方の面に複数配置されている、電子部品の製造方法。
IPC (6件)：
C23C 2/08 ( 200 6.01) ,  B23K 35/26 ( 200 6.01) ,  B23K 35/363 ( 200 6.01) ,  H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  C22C 13/00 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C23C 2/08 ,  B23K 35/26 310 A ,  B23K 35/363 D ,  H01L 21/92 604 D ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/60 301 P ,  C22C 13/00
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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