流速センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田正義 , 今枝弘充 , 梅村裕明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-001917
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145356
特許番号：特許第5656191号
出願日： 2011年01月07日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流路を流れる流体の速度を計測する流速センサにおいて、前記流路に接続され、前記流路をバイパスするバイパス路と、前記バイパス路内に設けられ、前記流路の上流と下流の圧力差を計測する検知部と、を備え、前記検知部が、ピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部と、前記流路と前記バイパス路とを繋ぐ通路とを有し、前記カンチレバー部と前記通路の間に設けられた隙間が、前記流体が流入しないように形成されており、前記圧力差を計測することによって、前記流路内の前記流体の流速を計測することを特徴とする流速センサ。

IPC (3件)：