特許

J-GLOBAL ID：201503018059368523

反射防止膜の製造方法及び積層膜

発明者： 佐藤 和裕 ,  春本 高志 ,  石黒 孝
出願人/特許権者： 学校法人東京理科大学
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-167079
公開番号（公開出願番号）：特開2015-034951
出願日： 2013年08月09日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
要約：

【課題】Al及びZnの少なくとも一方を含有する膜を水熱処理して反射防止膜を製造するに当たり、(例えば水熱処理される膜の厚さが比較的厚い場合であっても)効率良く反射防止膜を製造でき、かつ、可視光の透過率が高い反射防止膜を製造できる反射防止膜の製造方法を提供する。【解決手段】Al及びZnの少なくとも一方を主成分とする第1層と、Mgを主成分とする第2層と、を備える積層膜を準備する工程と、前記積層膜を水熱処理する工程と、を有する反射防止膜の製造方法である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

Al及びZnの少なくとも一方を主成分とする第1層とMgを主成分とする第2層とを備える積層膜を準備する準備工程と、 前記積層膜を水熱処理する水熱処理工程と、 を有する反射防止膜の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02

FI (2件)：

G02B1/10 A ,  B32B7/02 103

Fターム (13件)：

2K009AA03 ,  2K009CC02 ,  2K009DD04 ,  2K009DD11 ,  4F100AB09B ,  4F100AB10A ,  4F100AB18A ,  4F100BA02 ,  4F100BA25 ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JN06 ,  4F100JN18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 反射板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-001948   出願人：松下電器産業株式会社
• 光学部材、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-244832   出願人：キヤノン株式会社
• 光学用透明部材及びそれを用いた光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-039787   出願人：キヤノン株式会社, 公立大学法人大阪府立大学
• 特開昭53-103754