特許
J-GLOBAL ID：201503018266115628
計測装置、および計測装置の校正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-000862
公開番号（公開出願番号）：特開2015-129667
出願日： 2014年01月07日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：
【課題】計測誤差を抑えるための校正の簡易化に有利な計測装置および校正方法を提供する。【解決手段】被検物と計測ヘッド110との相対位置を変更可能とする移動機構と、球面原器206と、計測ヘッド110に対する光線の走査指令値と、計測ヘッド110から取得した光線の経路の長さとに基づいて、光線の照射点の座標を求める制御部とを備える。制御部は、被検物の計測の前に、球面原器206と計測ヘッド110とをある相対位置に変化させた後に、相対位置を維持した状態で光線を走査させて計測データ群を取得することを第N番目(Nは2以上の自然数)の相対位置まで繰り返し、第N番目の前記相対位置のそれぞれについて取得した計測データ群が球面原器206の表面上の点となるように照射点の座標を校正する。相対位置の数であるNは、Lを計測する点座標の次元、Mを光線を表す方程式のパラメーターの自由度とすると、(4-L)N≧Mの条件を満たす。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光線の投受光により被検物を計測する計測装置であって、
前記光線を走査可能とし、前記光線の投受光を行う計測ヘッドと、
前記被検物を保持する保持部と、
前記保持部に保持されている前記被検物と、前記計測ヘッドとの相対位置を変更可能とする移動機構と、
前記保持部に設置され、計測基準となる原器と、
前記計測ヘッドに対する前記光線の走査指令値と、前記計測ヘッドから取得した前記光線の経路の長さとに基づいて、前記被検物に対する前記光線の照射点の座標を求める制御部と、を備え、
前記制御部は、前記被検物の計測の前に、前記移動機構により前記原器と前記計測ヘッドとをある相対位置に変化させた後に、該相対位置を維持した状態で前記光線を走査させて計測データ群を取得することを第N番目(Nは2以上の自然数)の前記相対位置まで繰り返し、前記第N番目の前記相対位置のそれぞれについて取得した前記計測データ群が前記原器の表面上の点となるように前記照射点の座標を校正し、
前記相対位置の数であるNは、Lを計測する点座標の次元で0から3までのいずれかの整数、また、Mを前記光線を表す方程式のパラメーターの自由度で0から5までのいずれかの整数とすると、
(4-L)N≧M
の条件を満たす、
ことを特徴とする計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 A
, G01B11/00 G
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065GG04
, 2F065GG23
, 2F065HH04
, 2F065LL12
, 2F065LL62
, 2F065LL64
, 2F065MM16
, 2F065PP12
, 2F065QQ18
, 2F065QQ25
, 2F065RR08
, 2F065RR09
