特許
J-GLOBAL ID：201503018663382837
ウェハーの恒久的な接合のための方法及び装置、並びに切削器具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 久野 琢也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-554827
特許番号：特許第5769825号
出願日： 2012年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一材料から成る第一固体基板(1)の第一接合面(1o)を、第二材料から成る第二固体基板(2)の第二接合面(2o)に接合するための方法であって、
-少なくとも表面近傍領域内で準安定構造体を、100nm未満に減少された表面粗さOで生成するために、切削器具(5)による前記第一接合面(1o)及び/又は前記第二接合面(2o)の処理を行うステップであって、前記処理を行う間、前記切削器具(5)の速度及び温度を、前記第一固体基板及び前記第二固体基板の材料破壊が延性破壊で行われる速度及び温度に調整する、ステップと、
-前記接合面(1o、2o)で前記第一固体基板(1)を前記第二固体基板(2)に接触させるステップと、
-再結晶化温度を超える接合温度TBで、前記接合面(1o、2o)の表面粗さOよりも大きい再結晶化深さRにいずれの場合も至る、前記接合面(1o、2o)における再結晶化によって少なくとも生成される恒久的な接合を形成するために、接触している前記固体基板(1,2)を熱へ暴露するステップとを含む、
方法。
IPC (2件)：
B23K 20/00 ( 200 6.01)
, B23K 20/24 ( 200 6.01)
B23K 20/00 310 L
, B23K 20/00 310 P
, B23K 20/24
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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