特許

J-GLOBAL ID：201503018740744976

研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法

発明者： 南 久貴 ,  阿久津 利明 ,  岩野 友洋 ,  藤崎 耕司
出願人/特許権者： 日立化成株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  古下 智也
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013053558
公開番号（公開出願番号）：WO2013-125445
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

本発明に係る研磨剤は、水と、4価金属元素の水酸化物を含む砥粒と、特定のグリセリン化合物と、を含有する。

請求項（抜粋）：

水と、4価金属元素の水酸化物を含む砥粒と、グリセリン化合物と、を含有し、 前記グリセリン化合物が、下記一般式(I)で表される化合物、及び、下記一般式(II)で表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である、研磨剤。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C09G 1/02

FI (5件)：

C09K3/14 550Z ,  H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550D ,  C09G1/02

Fターム (32件)：

3C158AA07 ,  3C158AC04 ,  3C158CA04 ,  3C158CB02 ,  3C158CB03 ,  3C158DA02 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA13 ,  3C158EB01 ,  3C158EB07 ,  3C158ED05 ,  3C158ED13 ,  3C158ED22 ,  3C158ED23 ,  3C158ED24 ,  5F057AA09 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057BA11 ,  5F057BA24 ,  5F057BB28 ,  5F057BB29 ,  5F057BB37 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA06 ,  5F057EA16 ,  5F057EA31 ,  5F057EA38 ,  5F057EB01