特許

J-GLOBAL ID：201503019036463879

ガスレーザ発振装置およびレーザガス置換方法

発明者： 林川 洋之 ,  本宮 均 ,  山下 隆之
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  藤井 兼太郎 ,  寺内 伊久郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013000178
公開番号（公開出願番号）：WO2013-136644
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

本発明のガスレーザ発信装置は、大気圧以下の圧力に減圧された状態で真空チャンバーに封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、放電手段と送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス経路と、レーザガス経路からレーザガスを一定量排出するガス減圧手段を備える。ガス減圧手段はベルヌーイの原理を応用し、ガス減圧手段はレーザ加工機もしくはガスレーザ発振装置で使用する加圧状態の気体の一部を用い、レーザガス中に混入した大気の比率を一定以下に低減させるシーケンスを備える。

請求項（抜粋）：

大気圧以下の圧力に減圧された状態で真空チャンバーに封入されたレーザガスと、前記レーザガスを励起する放電部と、 前記レーザガスを送風する送風部と、 前記放電部と前記送風部との間の前記レーザガスの循環経路を形成するレーザガス流路と、 前記レーザガス流路から前記レーザガスを一定量排出するガス減圧部と、 を備え、 前記ガス減圧部は、ベルヌーイの原理を応用して前記レーザガス流路中の前記レーザガスを吸引排気し、 前記ガス減圧部は、レーザ加工機もしくはガスレーザ発振装置で使用する加圧状態の気体の一部を用い、前記レーザガス中に混入した大気の比率を一定以下に低減させるガスレーザ発振装置。

IPC (1件)：

H01S 3/036

FI (1件)：

H01S3/03 J

Fターム (6件)：

5F071BB03 ,  5F071EE02 ,  5F071HH02 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ08 ,  5F071JJ09