特許

J-GLOBAL ID：201503019275034270

電子顕微鏡

発明者： 今村 伸 ,  大嶋 卓 ,  川野 源
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-109053
公開番号（公開出願番号）：特開2015-164091
出願日： 2012年05月11日
公開日（公表日）： 2015年09月10日
要約：

【課題】本発明では、電子線を試料に照射し、試料より発生する二次粒子を検出することで試料の画像を得る装置において、検出器の受光素子への入射光を増大させ、高感度な電子顕微鏡を提供することを目的とする。また、検出を高速化可能な電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】電子線を発生させる電子源と、電子線光学系と、試料ステージと、真空排気系と、電子線検出器により構成された電子顕微鏡において、前記電子線検出器には、入射電子線を光に変換するシンチレータと、その光を電気信号に変換する受光素子と、前記シンチレータよりの光を前記受光素子に導くライトガイドを有し、前記ライトガイドは、370nmの波長の光の透過率が50%以上とすることにより上記課題を解決する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

電子線を発生させる電子源と、前記電子線を集束して試料に照射する電子光学系と、前記試料を載置する試料ステージと、前記電子線の照射により前記試料から得られる二次粒子を検出する検出器とを有し、 前記検出器には、前記二次粒子を光に変換するシンチレータと、その光を電気信号に変換する受光素子と、前記シンチレータで発生した光を前記受光素子に導くライトガイドとを有し、前記ライトガイドは、370nmの波長の光の透過率が50%以上である材質であることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (1件)：

H01J 37/244

FI (1件)：

H01J37/244

Fターム (4件)：

5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP02 ,  5C033NP08