特許
J-GLOBAL ID：201503019353829005
分離回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
前田 勘次
, 大矢 正代
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-053150
公開番号（公開出願番号）：特開2013-066992
特許番号：特許第5756423号
出願日： 2012年03月09日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 遊離砥粒方式を採用してシリコン材料を切断する際に発生する使用済クーラントから砥粒、シリコンスラッジ、及びクーラントを分離し、それぞれ再利用可能に回収する分離回収装置であって、
一次開口部を下方に向けて配設されたボウル状の一次回転体、及び、前記一次回転体と接続した一次回転軸及び前記一次回転軸を回転させる一次回転駆動部を有する一次回転機構部を備え、前記使用済クーラントから前記砥粒を除去する一次遠心分離部と、
前記使用済クーラントを一時的に貯留する使用済クーラント貯留槽と、
前記使用済クーラント貯留槽と配管によって接続され、前記一次開口部から前記一次回転体の内空間に先端が挿入された、貯留された前記使用済クーラントを一次回転体内壁に向けて吐出可能な一次吐出ノズルと、
前記一次回転駆動部と電気的に接続され、前記一次回転体の回転速度を変化させる一次回転速度制御部と、
前記一次回転速度制御部によって制御された前記回転速度の違いに応じて前記砥粒をそれぞれ前記砥粒としてそのまま再利用可能な回収砥粒及び破砕砥粒に分別して回収する砥粒分別回収部と、
二次開口部を下方に向けて配設されたボウル状の二次回転体、及び、前記二次回転体と接続した二次回転軸及び前記二次回転軸を回転させる二次回転駆動部を有する二次回転機構部を備え、前記一次遠心分離部によって前記回収砥粒及び前記破砕砥粒の除去された一次遠心分離液から前記一次回転体の回転速度よりも高速で前記二次回転体を回転させてシリコン材料として再利用可能な前記シリコンスラッジ及び再利用可能な前記クーラントに遠心分離する二次遠心分離部と、
前記一次遠心分離液を一時的に貯留する一次遠心分離液貯留槽と、
前記一次遠心分離液貯留槽と配管によって接続され、前記二次開口部から前記二次回転体の内空間に先端が挿入された、貯留された前記一次遠心分離液を二次回転体内壁に向けて吐出可能な二次吐出ノズルと
を具備することを特徴とする分離回収装置。
IPC (3件)：
B24B 57/00 ( 200 6.01)
, C02F 11/12 ( 200 6.01)
, B03B 5/28 ( 200 6.01)
B24B 57/00
, C02F 11/12 D
, B03B 5/28 A
