特許

J-GLOBAL ID：201503019372256709

MEMSデバイス

発明者： 明石 照久 ,  大村 義輝 ,  藤吉 基弘
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-076964
公開番号（公開出願番号）：特開2015-197423
出願日： 2014年04月03日
公開日（公表日）： 2015年11月09日
要約：

【課題】励振部とマス部が連結部材を介して連結されたMEMSデバイスにおいて、励振時のクロストークを抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】基板部と、基板部に対してX方向に振動する励振部6と、連結部材14を介して励振部6に連結されたマス部10を備えている。連結部材14と励振部6の接続箇所26が、連結部材14とマス部10の接続箇所28に比べて、マス部10の重心を通ってX方向に伸びる中心軸AからのY方向の距離が大きくなるように配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板部と、 基板部に対してX方向に振動する励振部と、 連結部材を介して励振部に連結されたマス部を備えており、 連結部材と励振部の接続箇所が、連結部材とマス部の接続箇所に比べて、マス部の重心を通ってX方向に伸びる中心軸からのY方向の距離が大きくなるように配置されている、MEMSデバイス。

IPC (3件)：

G01C 19/576 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G01C19/56 262 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (22件)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081AA13 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112FA01