特許
J-GLOBAL ID：201503019397074540
プラズマ生成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平井 安雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012079297
公開番号（公開出願番号）：WO2013-069799
出願日： 2012年11月12日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：
放電が局在し、高温を発してしまうアーク放電を抑制し、大気圧放電プラズマを室温程度の低温で、高い生成効率で、安定的かつ空間的に偏りなく生成することができるプラズマ生成装置を提供する。プラズマ生成装置は、複数の電極を対向してなるプラズマ生成装置において、前記複数の各電極間に配設され、温度の上昇に伴って誘電率が減少する特性を有するとともに分極性を有する流体からなる逆特性物質を、誘電体で形成される容器に収納して形成される放電位置制御手段を備え、前記逆特性物質が、前記複数の各電極に対して離隔される。 選択図 図1
請求項（抜粋）：
複数の電極を対向してなるプラズマ生成装置において、
前記複数の各電極間に配設され、温度の上昇に伴って誘電率が減少する特性を有するとともに分極性を有する流体からなる逆特性物質を、誘電体で形成される容器に収納して形成される放電位置制御手段を備え、
前記逆特性物質が、前記複数の各電極に対して離隔されることを
特徴とするプラズマ生成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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