特許

J-GLOBAL ID：201503019451833177

差圧センサの異常診断装置および異常診断方法

発明者： 高井 宗則
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-047828
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181952
特許番号：特許第5829149号
出願日： 2012年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 貫通路を有する隔壁によって区画された第1の空間と第2の空間とを有するボディと、 前記第1の空間の開口部に設けられた第1の受圧ダイアフラムと、 前記第2の空間の開口部に設けられた第2の受圧ダイアフラムと、 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備え、前記センサダイアフラムの一方の面を前記第1の受圧ダイアフラムに臨むようにして、前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を前記隔壁の貫通路に連通させるようにして、前記第1の空間側に位置する前記隔壁の壁面に接合されたセンサチップと、 前記第1の空間に封止され、前記第1の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第1の圧力伝達媒体と、 前記第2の空間および前記隔壁の貫通路および前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止され、前記第2の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第2の圧力伝達媒体とを備え、 前記第1の圧力伝達媒体の封止圧と前記第2の圧力伝達媒体の封止圧とを異ならせた差圧センサの異常診断装置であって、 前記第1の圧力伝達媒体の封止圧および前記第2の圧力伝達媒体の封止圧の少なくとも一方を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて前記差圧センサの異常の有無を判定する異常判定手段 を備えることを特徴とする差圧センサの異常診断装置。

IPC (2件)：

G01L 19/12 ( 200 6.01) ,  G01L 13/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 19/12 J ,  G01L 13/02 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第2595749号
  
• 特公昭62-022090
  
• 特許第5793451号