感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺喜平 , 田中有子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012003846
公開番号（公開出願番号）：WO2012-172793
出願日： 2012年06月13日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：

(a)ポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)感光剤と、(c)溶剤と、(d)架橋剤と、(e)分子内に水酸基、アルコキシ基又はカルボキシル基を持つ複素環状化合物を含有する感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)ポリベンゾオキサゾール前駆体と、 (b)感光剤と、 (c)溶剤と、 (d)架橋剤と、 (e)分子内に水酸基、アルコキシ基又はカルボキシル基を持つ複素環状化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/085 , G03F 7/023 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 73/22

FI (6件)：

G03F7/085 , G03F7/023 , G03F7/004 501 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G73/22

Fターム (57件)：

2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 2H125AE04P , 2H125AE05P , 2H125AE06P , 2H125AE07P , 2H125AE15P , 2H125AF04P , 2H125AF05P , 2H125AM75P , 2H125AN02P , 2H125AN24P , 2H125AN25P , 2H125AN31P , 2H125AN54P , 2H125AN57P , 2H125AN72P , 2H125AN84P , 2H125AN86P , 2H125AN87P , 2H125AN89P , 2H125BA06P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CA13 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 2H196AA25 , 2H196AA26 , 2H196AA27 , 2H196BA10 , 2H196EA02 , 2H196GA09 , 2H196HA01 , 4J043PA04 , 4J043QB23 , 4J043QB34 , 4J043QB52 , 4J043RA52 , 4J043SA05 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA26 , 4J043UA121 , 4J043UA132 , 4J043UA772 , 4J043UB012 , 4J043UB051 , 4J043UB122 , 4J043XA13 , 4J043ZB47

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