特許

J-GLOBAL ID：201503019811346107

屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法

発明者： 杉本 智洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-136169
公開番号（公開出願番号）：特開2015-010922
出願日： 2013年06月28日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：

【課題】 被検物の屈折率を高精度に計測すること。【解決手段】 光源10からの光を被検光と参照光に分割し、被検物80を透過した被検光と参照光を干渉させる干渉計測によって被検物80の屈折率を計測する。第1の温度において第1の位相差を計測し、第1の温度とは異なる第2の温度において第2の位相差を計測し、第1の位相差と第2の位相差と被検物80の屈折率の温度係数とを用いて被検物80の屈折率を算出する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光源からの光を被検光と参照光に分割し、前記被検光を被検物に入射させ、前記被検物を透過した被検光と前記参照光を干渉させた干渉光を計測することによって前記被検物の屈折率を計測する屈折率計測方法であって、 前記被検物の温度が第1の温度であるときの前記被検光と前記参照光の位相差である第1の位相差を計測する第1計測ステップと、 前記被検物の温度が前記第1の温度とは異なる第2の温度であるときの前記被検光と前記参照光の位相差である第2の位相差を計測する第2計測ステップと、 前記第1の位相差と前記第2の位相差と既知の前記被検物の屈折率の温度係数とを用いて前記被検物の屈折率を算出する算出ステップと、 を有することを特徴とする屈折率計測方法。

IPC (3件)：

G01N 21/41 ,  G01N 21/45 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01N21/41 A ,  G01N21/45 A ,  G01M11/00 L

Fターム (13件)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE09 ,  2G059EE16 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G086FF06