特許
J-GLOBAL ID：201503019825238366
光学装置、光学系、露光装置及び物品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-197505
公開番号（公開出願番号）：特開2015-065246
出願日： 2013年09月24日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
要約：
【課題】光学素子の光学面を変形させる上で有利な光学装置を提供する。【解決手段】いずれか一方が光学素子2の光学面2aの反対側の面に配置され、他方がベースプレート3に配置される磁石41及びコイル42をそれぞれ含み、前記光学面を変形させる複数の第1アクチュエータ4と、前記光学素子の前記光学面の反対側の面に力を加える第2アクチュエータ5と、前記複数の第1アクチュエータのそれぞれに生じる誘導起電力の値を検出する検出部8と、前記第2アクチュエータを単位量駆動させたときに前記複数の第1アクチュエータのそれぞれに生じる誘導起電力の値を前記検出部によって検出し、前記誘導起電力の値の変化量に基づいて、基準状態の前記複数の第1アクチュエータのそれぞれを駆動するための指令値を補正する処理部10と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光学素子の光学面を変形させる光学装置であって、
ベースプレートと、
いずれか一方が前記光学素子の前記光学面の反対側の面に配置され、他方が前記ベースプレートに配置される磁石及びコイルをそれぞれ含み、前記光学面を変形させる複数の第1アクチュエータと、
前記光学素子の前記光学面の反対側の面に力を加える第2アクチュエータと、
前記複数の第1アクチュエータのそれぞれに生じる誘導起電力の値を検出する検出部と、
前記複数の第1アクチュエータが基準状態である場合と前記基準状態から変化した第1状態である場合のそれぞれで前記第2アクチュエータを単位量駆動させたときに前記複数の第1アクチュエータのそれぞれに生じる誘導起電力の値を前記検出部によって検出し、前記基準状態と前記第1状態において検出された誘導起電力の値の変化量に基づいて、前記基準状態の前記複数の第1アクチュエータのそれぞれを駆動するための指令値を補正して前記第1状態の前記複数の第1アクチュエータのそれぞれに与える補正指令値を決定する処理部と、
を有することを特徴とする光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 3/14
, G02B 7/198
H01L21/30 515D
, G02B3/14
, G02B7/18 B
2H043BC03
, 5F146BA04
, 5F146BA05
, 5F146CB03
, 5F146CB45
, 5F146CB46
, 5F146DA13
