特許
J-GLOBAL ID:201503019838327148
圧電センサおよび圧力検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-118297
公開番号(公開出願番号):特開2014-235134
特許番号:特許第5797693号
出願日: 2013年06月04日
公開日(公表日): 2014年12月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 圧電層が上部電極と下部電極に挟まれた圧電センサであって、
前記上部電極が、
一の方向に延在する第1パターン電極を複数備え、
前記下部電極が、
前記第1パターン電極と同一方向に延在する第2パターン電極を複数備え、
前記第1パターン電極が、
前記圧電層の上に間隔をあけて積層される複数の第1電極部と、
隣接する前記第1電極部の間に形成され、前記第1電極部どうしを電気的に接続する第1接続部とを備え、
前記第2パターン電極が、
前記第1電極部と重なるように前記圧電層の下に積層される複数の第2電極部と、
前記第2電極部どうしを電気的に接続する第2接続部とを備え、
前記第1電極部が、前記圧電層を介して複数の前記第2電極部と重なるように配置された圧電センサ。
IPC (6件):
G01L 1/16 ( 200 6.01)
, G01L 5/00 ( 200 6.01)
, H01L 41/193 ( 200 6.01)
, H01L 41/29 ( 201 3.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
, H01L 41/047 ( 200 6.01)
FI (6件):
G01L 1/16 C
, G01L 5/00 101 Z
, H01L 41/193
, H01L 41/29
, H01L 41/113
, H01L 41/047
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