特許

J-GLOBAL ID：201503019909745248

レーザ装置

発明者： 古田 啓介 ,  森田 大嗣 ,  今野 進 ,  久場 一樹 ,  西前 順一 ,  藤川 周一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  竹内 三喜夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-088392
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122341
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：

【課題】装置の停止中であっても電力を消費することなく、そして、装置立上げ時に待機時間を要することなく、有害ガスの影響を低減できるレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置は、レーザ光を発生する基本波レーザ発振器20および波長変換ユニット40と、基本波レーザ発振器20および波長変換ユニット40を気密収納するための筐体1と、筐体1内部に設置され、有害ガスを吸着するための吸着部5と、筐体1の排気口8および給気口9と連通した閉ループ配管10と、閉ループ配管10を用いて筐体1内のガスを循環させるためのポンプ11と、ポンプ11と給気口9との間に設けられ、筐体1内部のガス圧を調整するためのガス圧調整バルブ14などを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ光発生部と、 レーザ光発生部を気密収納するための筐体と、 筐体内部に設置され、有害ガスを吸着するための吸着部と、 筐体の排気口および給気口と連通した閉ループ配管と、 閉ループ配管を用いて筐体内のガスを循環させるためのポンプと、 ポンプと給気口との間に設けられ、筐体内部のガス圧を調整するためのガス圧調整バルブと、を備えたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (1件)：

H01S 3/02

FI (1件)：

H01S3/02

Fターム (9件)：

5F172AE03 ,  5F172AE09 ,  5F172AF02 ,  5F172NN13 ,  5F172NP14 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24 ,  5F172WW04 ,  5F172WW07