MEMS装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-251417
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098850
特許番号：特許第5768803号
出願日： 2012年11月15日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、磁性体を有し、基板に対して相対的に傾動可能な可動部と、磁性体に磁界を印加可能な第1磁極および第2磁極と、磁性体の磁界を検出する磁界検出手段と、を備えており、可動部の磁性体が設けられている側に第1磁極と第2磁極が配置され、磁界検出手段は、第1磁極と第2磁極との間に配置されており、第1磁極と第2磁極との間の距離は、可動部の第1磁極から第2磁極に向かう方向の長さよりも短い、MEMS装置。

IPC (3件)：