第5族金属フェニルイミド-トリアルコキソ錯体及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268490
公開番号（公開出願番号）：特開2015-124165
出願日： 2013年12月26日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：

【課題】第5族金属酸化物膜具体的にはニオブ酸化物又はタンタル酸化物の膜を湿式法で作製するための材料である第5族金属オキソ-アルコキソ錯体の前駆体として有用な、フェニルイミド-トリ(tert-ブチルオキソ)錯体、及びその製造方法の提供。【解決手段】アルキルイミド-トリ(tert-ブチルオキソ)錯体にアニリン誘導体を反応させて、式(1)で示されるフェニルイミド-トリ(tert-ブチルオキソ)錯体を製造する。(Mはニオブ原子又はタンタル原子;R1〜R5は各々独立にH又はC1〜C6のアルキル基)【選択図】なし

請求項（抜粋）：