特許
J-GLOBAL ID：201503020236044282
感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (14件)：
蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 中村 誠
, 野河 信久
, 白根 俊郎
, 峰 隆司
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-250461
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152431
特許番号：特許第5723854号
出願日： 2012年11月14日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1個又は2個の水素原子が窒素原子に結合したアミノ基を1つ以上有する化合物の前記水素原子の1個以上が、-S-R3基又は-S(O)R3基(式中、R3は置換基を表す)により置換された含窒素化合物と、酸の作用により極性が変化する樹脂(Ab)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C08F 212/04 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, G03F 7/039 601
, G03F 7/038 601
, H01L 21/30 502 R
, C08F 212/04
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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