特許

J-GLOBAL ID：201503020362562221

二流体ノズル

発明者： 八木原 惇
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  岡本 知広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-250202
公開番号（公開出願番号）：特開2015-107442
出願日： 2013年12月03日
公開日（公表日）： 2015年06月11日
要約：

【課題】簡単な構造で液体と気体の混合流体を噴出する他に、気体のみを噴射することもできる二流体ノズルを提供する。【解決手段】気体と液体の混合流体92を噴射する二流体ノズル56であって、液体供給口58と、気体供給口62と、液体と気体の混合流体を噴射する噴射口80と、気体供給口と噴射口とを連通させる通気路82と、通気路に接続して液体供給口から供給された液体を通気路を流れる気体に合流させる通水路84と、を含み、通気路は、気体供給口の面積よりも狭窄する断面積を有する第1の絞り部86と、第1の絞り部と噴射口との間に配設され通気路が第1の絞り部より拡張する拡張部88と、を有し、通水路は、液体供給口の面積よりも狭窄する断面積を有する第2の絞り部90を有し、第2の絞り部は狭窄した断面積のまま通気路における拡張部と噴射口との間に、通気路に対して直角から±5°の角度で接続していることを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

気体と液体の混合流体を噴射する二流体ノズルであって、 液体供給源から液体供給手段によって液体が供給される液体供給口と、 気体供給源から気体供給手段によって気体が供給される気体供給口と、 液体と気体の混合流体を噴射する噴射口と、 該気体供給口と該噴射口とを連通させる通気路と、 該通気路に接続して該液体供給口から供給された液体を該通気路を流れる気体に合流させる通水路と、を含み、 該通気路は、該気体供給口の面積よりも狭窄する断面積を有する第1の絞り部と、該第1の絞り部と該噴射口との間に配設され該通気路が該第1の絞り部より拡張する拡張部と、を有し、 該通水路は、該液体供給口の面積よりも狭窄する断面積を有する第2の絞り部を有し、該第2の絞り部は狭窄した断面積のまま該通気路における該拡張部と該噴射口との間に、該通気路に対して直角から±5°の角度で接続していることを特徴とする二流体ノズル。

IPC (3件)：

B05B 7/04 ,  H01L 21/304 ,  B05B 1/12

FI (3件)：

B05B7/04 ,  H01L21/304 643C ,  B05B1/12

Fターム (41件)：

4F033AA04 ,  4F033BA04 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033GA07 ,  4F033LA09 ,  4F033QA09 ,  4F033QB02X ,  4F033QB03X ,  4F033QB12X ,  4F033QB15X ,  4F033QD02 ,  4F033QD15 ,  4F033QE09 ,  4F033QF12X ,  5F157AA62 ,  5F157AA70 ,  5F157AA72 ,  5F157AA73 ,  5F157AA99 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC26 ,  5F157BB22 ,  5F157BB32 ,  5F157BB37 ,  5F157BC35 ,  5F157BD22 ,  5F157BE12 ,  5F157CB15 ,  5F157CF60 ,  5F157CF66 ,  5F157CF72 ,  5F157CF86 ,  5F157DB02 ,  5F157DB37 ,  5F157DC11 ,  5F157DC31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 気液混合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-095337   出願人：株式会社いけうち