特許

J-GLOBAL ID：201503020848082280

露光制御装置

発明者： 安木 俊介 ,  江澤 弘造
出願人/特許権者： パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人 (6件)： 奥田 誠司 ,  喜多 修市 ,  梶谷 美道 ,  三宅 章子 ,  岡部 英隆 ,  川喜田 徹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012007806
公開番号（公開出願番号）：WO2013-084489
出願日： 2012年12月05日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：

本願に開示された露光制御装置は、光路上に配置される露光制御装置であって、特定方向に偏光した光を透過させる特性を有する第1の領域及び前記特定方向に偏光した光を透過させる特性を有しない第2の領域をそれぞれが有する第1及び第2の光量調節板を備え、前記第1及び第2の光量調節板を回転させることによって光量を調節する。

請求項（抜粋）：

光路上に配置される露光制御装置であって、 特定方向に偏光した光を透過させる特性を有する第1の領域及び前記特定方向に偏光した光を透過させる特性を有しない第2の領域をそれぞれが有する第1及び第2の光量調節板を備え、 前記第1及び第2の光量調節板を回転させることによって光量を調節する、露光制御装置。

IPC (2件)：

G03B 9/02 ,  G03B 11/00

FI (2件)：

G03B9/02 A ,  G03B11/00

Fターム (6件)：

2H080AA31 ,  2H080AA54 ,  2H080AA66 ,  2H083AA06 ,  2H083AA29 ,  2H083AA53