特許

J-GLOBAL ID：201503021003899960

ガスフロー蒸着装置、及びガスフロー蒸着方法

発明者： 森田 治
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097033
公開番号（公開出願番号）：特開2015-129316
出願日： 2012年04月20日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：

【課題】基板に成膜される有機材料中に含まれる水分量を低減する。【解決手段】ガスフロー蒸着装置20は、キャリアガスの流量を制御するMFC400と、MFCによって流量を制御されたキャリアガスを加熱する熱交換器300とを備える。また、ガスフロー蒸着装置20は、蒸着材料を内部に収容し、熱交換器によって加熱されたキャリアガスととともに蒸着材料の蒸気を流出する材料容器200と、材料容器200から流出された蒸着材料の蒸気及びキャリアガスを含むガスを噴射する蒸着ヘッド100とを備える。熱交換器300は、キャリアガスの流入側の圧力とキャリアガスの流出側の圧力との差圧が生じるよう形成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

キャリアガスの流量を制御する流量制御部と、 前記流量制御部によって流量を制御されたキャリアガスを加熱する熱交換器と、 蒸着材料を内部に収容し、前記熱交換器によって加熱されたキャリアガスとともに前記蒸着材料の蒸気を流出する材料容器と、 前記材料容器から流出された前記蒸着材料の蒸気及び前記キャリアガスを含むガスを噴射する蒸着ヘッドと、を備え、 前記熱交換器は、前記キャリアガスの流入側の圧力と前記キャリアガスの流出側の圧力との差圧が生じる熱交換器である ことを特徴とするガスフロー蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (3件)：

C23C14/24 L ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (18件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC23 ,  3K107CC45 ,  3K107FF14 ,  3K107FF16 ,  3K107GG02 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DA04 ,  4K029DB11 ,  4K029DB17 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029FA09