特許

J-GLOBAL ID：201503021071609294

駆動装置、荷電粒子線照射装置、リソグラフィ装置

発明者： 内田 真司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-159137
公開番号（公開出願番号）：特開2015-033162
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】 磁気シールドに対する着磁の影響も低減させ、かつ磁気シールドの開口を介して電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを低減させることが可能な駆動装置を提供すること。【解決手段】 本発明の駆動装置6は、電磁力により動力を生じる電磁アクチュエータ7と、電磁アクチュエータ7によって動く可動部73及び8と、電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に前記電磁アクチュエータを囲む第1の磁気シールド91と第2の磁気シールド92を含む磁気シールドユニットとを有している。 磁気シールド91、92の少なくとも一方にある、消磁コイル120が貫通している開口は、第1の磁気シールド91又は第2の磁気シールド92と対向していることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

電磁アクチュエータと、 前記電磁アクチュエータによって動く可動部と、 前記電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に前記電磁アクチュエータを囲む、第1の磁気シールドと第2の磁気シールドとを含む磁気シールドユニットと、 前記第1磁気シールド及び前記第2の磁気シールドの少なくとも一方に在る開口を貫通している消磁コイルとを有し、 前記消磁コイルが貫通している開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第1の磁気シールド又は前記第2の磁気シールドと対向していることを特徴とする駆動装置。

IPC (1件)：

H02K 33/04

FI (1件)：

H02K33/04 A

Fターム (4件)：

5H633BB04 ,  5H633GG02 ,  5H633HH14 ,  5H633JB09