特許
J-GLOBAL ID:201503021101823831
ミリ波イメージング装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-025242
公開番号(公開出願番号):特開2015-152377
出願日: 2014年02月13日
公開日(公表日): 2015年08月24日
要約:
【課題】従来よりも高精度の欠陥検出が可能となる、ミリ波イメージング装置を提供する。【解決手段】送信器12は、ミリ波帯域内で周波数掃引された電磁波を検査対象21に放射する。演算部44は、検査対象21表面の一点における、周波数別の反射係数の振幅成分の極小値を取る周波数を抽出するとともに、抽出された周波数の、検査対象21表面の2次元座標に沿った2次元画像を生成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ミリ波帯域内で周波数掃引された電磁波を検査対象に放射する送信器と、
前記検査対象からの反射波を受信する受信器と、
前記検査対象表面との離間距離を維持した状態で、前記検査対象表面に沿って、前記送信器及び受信器と前記検査対象とを相対移動させる移動機構と、
前記検査対象表面の一点における、周波数別の反射係数の振幅成分の極小値を取る周波数を抽出するとともに、抽出された周波数の、前記検査対象表面の2次元座標に沿った2次元画像を生成する演算部と、
を備えることを特徴とする、ミリ波イメージング装置。
IPC (4件):
G01N 22/02
, G01S 13/89
, G01N 22/00
, G01B 15/00
FI (6件):
G01N22/02 A
, G01S13/89
, G01N22/00 S
, G01N22/00 L
, G01N22/00 P
, G01B15/00 C
Fターム (22件):
2F067AA45
, 2F067BB16
, 2F067BB26
, 2F067BB27
, 2F067DD07
, 2F067DD09
, 2F067HH02
, 2F067JJ02
, 2F067KK08
, 2F067NN05
, 2F067RR14
, 2F067RR21
, 2F067RR25
, 2F067RR29
, 2F067SS02
, 2F067SS13
, 5J070AB24
, 5J070AE07
, 5J070AH36
, 5J070AJ08
, 5J070AK22
, 5J070BE02
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