特許
J-GLOBAL ID：201503021425170732

シランおよびヒドロハロシランの製造方法

発明者：
ウィリアム シー ブレネマン

ウィリアム シー ブレネマン について


出願人/特許権者：
アールイーシー シリコン インコーポレイテッド

アールイーシー シリコン インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  池田 浩 ,  田浦 弘達
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-547487
公開番号（公開出願番号）：特表2015-504838
出願日： 2012年12月14日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：
超高純度シランおよび一般式HySiX4-y(y=1、2、または3)のヒドロハロシランを反応蒸留法によって製造するためのシステムおよびプロセスの実施形態を開示する。
請求項（抜粋）：
(a)第1の多段分留塔(2)であって、 複数の蒸留段を画定する容器と、 反応物質流入口(1)と、 前記反応物質流入口(1)の上に位置する第1の留出液流出口(5)と、 前記反応物質流入口(1)と前記第1の留出液流出口(5)の間に位置する第1の製品流入口(8)と、 底部出口(31)と、 前記第1の留出液流出口(5)の上に位置する蒸気流出口(32)とを備える第1の多段分留塔(2)と、 (b)第1の触媒再分配反応器(7)であって、 チャンバを画定する容器と、 入口(7a)と、 前記入口(7a)から離間された製品流出口(7b)と、 前記入口(7a)と前記製品流出口(7b)の間の前記チャンバ内に配置された固定床触媒とを備え、 前記製品流出口(7b)は、前記第1の多段分留塔(2)の前記第1の製品流入口(8)に連通し、 圧力平衡出口または蒸気戻り出口を含まない、第1の触媒再分配反応器(7)と、 (c)第1の留出液流(B)を前記第1の留出液流出口(5)から前記第1の触媒再分配反応器(7)に注入するよう動作可能な第1のポンプ(6)と、 (d)前記第1の多段分留塔(2)の前記蒸気流出口(32)に連通するコンデンサ(28)とを備える、ヒドロシランの製造システム。
IPC (2件)：
C01B 33/04 ,  C01B 33/107
FI (2件)：
C01B33/04 ,  C01B33/107
Fターム (15件)：
4G072AA05 ,  4G072AA11 ,  4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH01 ,  4G072HH07 ,  4G072HH08 ,  4G072HH09 ,  4G072JJ01 ,  4G072JJ14 ,  4G072LL01 ,  4G072MM03 ,  4G072MM09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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