特許
J-GLOBAL ID：201503021801099874

電気素子パッケージの製造方法及び電気素子パッケージ

発明者：
白神 徹

白神 徹 について

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益田 紀彰

益田 紀彰 について

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奥長 清行

奥長 清行 について


出願人/特許権者：
日本電気硝子株式会社

日本電気硝子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-153183
公開番号（公開出願番号）：特開2015-023263
出願日： 2013年07月24日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：
【課題】素子基板が金属又はセラミックの場合でも、素子の特性劣化を招くことなく、素子基板と封着材料層の接着強度を高め得る方法を創案することにより、電気素子パッケージの信頼性を高めること。【解決手段】本発明の電気素子パッケージの製造方法は、ガラス基板を用意すると共に、ガラス基板上に封着材料層を形成する工程と、金属又はセラミックからなる素子基板を用意すると共に、素子基板上に反応膜を形成する工程と、封着材料層と反応膜が接触するように、ガラス基板と素子基板を配置する工程と、ガラス基板側からレーザー光を封着材料層に向けて照射し、封着材料層と反応膜を反応させて、ガラス基板と素子基板を封着する工程と、を備えることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガラス基板を用意すると共に、ガラス基板上に封着材料層を形成する工程と、 金属又はセラミックからなる素子基板を用意すると共に、素子基板上に反応膜を形成する工程と、 封着材料層と反応膜が接触するように、ガラス基板と素子基板を配置する工程と、 ガラス基板側からレーザー光を封着材料層に向けて照射し、封着材料層と反応膜を反応させて、ガラス基板と素子基板を封着する工程と、を備えることを特徴とする電気素子パッケージの製造方法。
IPC (8件)：
H01L 23/02 ,  C03C 8/24 ,  H01L 41/053 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/02 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/02
FI (8件)：
H01L23/02 D ,  C03C8/24 ,  H01L41/053 ,  H03H3/02 B ,  H03H9/02 A ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/02
Fターム (114件)：
3K107AA01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC23 ,  3K107DD12 ,  3K107DD13 ,  3K107DD15 ,  3K107EE43 ,  3K107EE48 ,  3K107EE55 ,  3K107EE63 ,  3K107FF14 ,  3K107FF15 ,  3K107FF17 ,  3K107GG28 ,  4G062AA08 ,  4G062BB01 ,  4G062BB07 ,  4G062DA01 ,  4G062DA02 ,  4G062DA03 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DD01 ,  4G062DD02 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DF01 ,  4G062DF02 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EB02 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EE03 ,  4G062EF01 ,  4G062EF02 ,  4G062EF03 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FF02 ,  4G062FF03 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FJ02 ,  4G062FJ03 ,  4G062FK01 ,  4G062FK02 ,  4G062FK03 ,  4G062FL01 ,  4G062FL02 ,  4G062FL03 ,  4G062GA06 ,  4G062GA07 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH02 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH06 ,  4G062HH07 ,  4G062HH08 ,  4G062HH09 ,  4G062HH10 ,  4G062HH11 ,  4G062HH12 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ04 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK04 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM08 ,  4G062MM12 ,  5J108EE03 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02
引用特許：
審査官引用 (2件)

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