特許
J-GLOBAL ID:201503022178008222
仮固定組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
八田国際特許業務法人
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012065522
公開番号(公開出願番号):WO2012-176737
出願日: 2012年06月18日
公開日(公表日): 2012年12月27日
要約:
【課題】ウェハ等や金属を高い接着強度で固定できるとともに、ウェハ等や金属を破損することなく簡便かつきれいに剥離することができる仮固定組成物を提供する。【解決手段】下記(A)〜(C)成分: (A)成分:炭素数16〜35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂 (B)成分:水素添加された粘着付与剤 (C)成分:25°Cで固体である炭化水素化合物を含み、100°Cにおける溶融粘度が1〜5000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が30〜100である、平面研磨に用いられる、仮固定組成物。【選択図】図1
請求項(抜粋):
下記(A)〜(C)成分:
(A)成分:炭素数16〜35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
(C)成分:25°Cで固体である炭化水素化合物
を含み、100°Cにおける溶融粘度が1〜5000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が30〜100である、平面研磨に用いられる、仮固定組成物。
IPC (4件):
C09J 123/24
, C09J 11/06
, C09J 9/00
, H01L 21/304
FI (4件):
C09J123/24
, C09J11/06
, C09J9/00
, H01L21/304 622J
Fターム (22件):
4J040BA171
, 4J040BA191
, 4J040BA201
, 4J040DA131
, 4J040HB01
, 4J040JA01
, 4J040JA06
, 4J040JB01
, 4J040KA26
, 4J040KA31
, 4J040LA08
, 4J040MA02
, 4J040MB05
, 4J040NA20
, 4J040PA30
, 5F057AA05
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA01
, 5F057EC02
, 5F057EC07
, 5F057FA15
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