特許

J-GLOBAL ID：201503022520441006

切削ブレードのツルーイング方法及び装置

発明者： 新井 祐介
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (2件)： 林 孝吉 ,  清水 貴光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190629
公開番号（公開出願番号）：特開2015-054381
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
要約：

【課題】切削ブレードの先端部の破損を防ぎ、かつ、先端形状を容易にフラットの形状にすることができる、新規、且つ改良された切削ブレードのツルーイング方法及び装置を提供する。【解決手段】切削ブレード25を中心軸線26に沿う方向に移動可能な回転スピンドルに固定し、回転スピンドルと共に回転している切削ブレード25を、チャックテーブル19d上に水平に保持されている整形用のドレッサーボード30の表面に対して垂直に当接させ、尚且つ、ドレッサーボード30の表面と平行に中心軸線26に沿う方向に移動させて、切削ブレード25の先端形状をドレッサーボード30により整形する切削ブレード25のツルーイング方法において、ドレッサーボード30が、切削ブレード25の位置に対して所定の角度θを持って相対運動しながら切削ブレード25の先端形状を整形するようにした。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

切削ブレードを中心軸線に沿う方向に移動可能な回転スピンドルに固定し、該回転スピンドルと共に回転している前記切削ブレードを、チャックテーブル上に水平に保持されているドレッサーボードの表面に対して垂直に当接させ、尚且つ、前記整形用ドレッサーボードの表面と平行に前記中心軸線に沿う方向に移動させて、前記切削ブレードの先端形状を前記ドレッサーボードにより整形する切削ブレードのツルーイング方法において、 前記ドレッサーボードが、前記切削ブレードの位置に対して所定の角度を持って相対運動しながら前記切削ブレードの先端形状を整形するようにしたことを特徴とする切削ブレードのツルーイング方法。

IPC (4件)：

B24B 53/00 ,  B24B 53/12 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/301

FI (4件)：

B24B53/00 K ,  B24B53/12 Z ,  B24B27/06 M ,  H01L21/78 F

Fターム (16件)：

3C047AA32 ,  3C047EE09 ,  3C058AA03 ,  3C058AA19 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058DA17 ,  3C158AA03 ,  3C158AA19 ,  3C158AB04 ,  3C158CA01 ,  3C158DA17 ,  5F063AA05 ,  5F063CA01 ,  5F063CA04 ,  5F063DD22