特許

J-GLOBAL ID：201503022585708360

露光装置に用いる液浸部材、それを用いた露光装置及び露光方法、並びに露光装置の制御方法

発明者： 谷 裕久
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 川北 喜十郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216399
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079867
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：

【課題】液浸液を残留させることなく液浸空間を移動することができ、ステージ部材の駆動や移動制御に影響を与えることのない液浸部材を提供する。【解決手段】投影光学系と液体とを介してパターンの像を基板上に投影することにより前記基板を露光する露光装置に用いられる液浸部材は、基体と、前記基体の前記液体と接触する面に形成された撥液膜とを有し、前記撥液膜はエレクトレット特性を有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

投影光学系と液体とを介してパターンの像を基板上に投影することにより前記基板を露光する露光装置に用いられる液浸部材であって、 基体と、 前記基体の前記液体と接触する面に形成された撥液膜とを有し、 前記撥液膜がエレクトレット特性を有する液浸部材。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 F

Fターム (24件)：

5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131DB87 ,  5F131EA02 ,  5F131EA17 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131KA03 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F146BA11 ,  5F146CB31 ,  5F146DA32 ,  5F146DA34