特許

J-GLOBAL ID：201503022811740353

角速度センサー、電子機器及び移動体

発明者： 市川 史生 ,  松尾 敦司 ,  木村 融一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-239660
公開番号（公開出願番号）：特開2015-099115
出願日： 2013年11月20日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：

【課題】インピーダンスを低下させ、Q値を向上させることが可能な角速度センサーの提供。【解決手段】角速度センサー1は、互いに直交する3本の仮想軸を、それぞれX軸、Y軸及びZ軸としたときに、X軸とY軸とで規定されるXY平面に沿って、Z軸方向から見てX軸とY軸との交点Oを含んで延在している基部10と、基部10を囲み、交点Oを中心とする円環状に延在している環部20と、基部10の+X側の端部及び-X側の端部から、それぞれX軸上に延び、基部10と環部20とを接続する支持部30と、交点Oから支持部30を基準に45度の間隔で、+Y側及び-Y側に3本ずつ放射状に延びる6本の仮想線L1〜L6上に、環部20から基部10に向かって延びている6本の腕部21〜26と、を備え、6本の腕部21〜26のうち、2本の腕部21,23が駆動部40であることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに直交する3本の仮想軸を、それぞれX軸、Y軸及びZ軸としたときに、 X軸とY軸とで規定されるXY平面に沿って、 Z軸方向から見てX軸とY軸との交点を含んで延在している基部と、 前記基部を囲み、前記交点を中心とする円環状に延在している環部と、 前記基部の+X側の端部及び-X側の端部から、それぞれX軸上に延び、前記基部と前記環部とを接続する支持部と、 前記交点から前記支持部を基準に45度の間隔で、+Y側及び-Y側に3本ずつ放射状に延びる6本の仮想線上に、前記環部から前記基部に向かって延びている6本の腕部と、を備え、 前記6本の腕部のうち、2本の腕部が駆動部であることを特徴とする角速度センサー。

IPC (1件)：

G01C 19/56

FI (1件)：

G01C19/56 100

Fターム (10件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13