特許
J-GLOBAL ID:201503023043729694

両面粘着テープ及びこれを用いた積層シート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 拓也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-244473
公開番号(公開出願番号):特開2015-101683
出願日: 2013年11月27日
公開日(公表日): 2015年06月04日
要約:
【課題】 本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラスなどの被研磨物を研磨する研磨装置の定盤に、研磨部材又は被研磨物を固定させるために用いられる両面粘着テープを提供する。【解決手段】 本発明の両面粘着テープは、研磨部材又はバッキングシートを定盤に固定させるための両面粘着テープであって、基材フィルム1と、上記基材フィルム1の一面に積層一体化され且つ定盤に貼着させるための第一粘着剤層2と、上記第一粘着剤層上に剥離可能に積層され且つ紙基材層を含み、上記紙基材層が表面を形成している剥離紙4と、上記基材フィルムの他面に積層一体化され且つ上記研磨部材又は上記バッキングシートを貼着させるための第二粘着剤層3とを有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
研磨部材又はバッキングシートを定盤に固定させるための両面粘着テープであって、基材フィルムと、上記基材フィルムの一面に積層一体化され且つ定盤に貼着させるための第一粘着剤層と、上記第一粘着剤層上に剥離可能に積層され且つ紙基材層を含み、上記紙基材層が表面を形成している剥離紙と、上記基材フィルムの他面に積層一体化され且つ上記研磨部材又は上記バッキングシートを貼着させるための第二粘着剤層とを有することを特徴とする両面粘着テープ。
IPC (3件):
C09J 7/02 ,  B32B 27/10 ,  B32B 27/00
FI (3件):
C09J7/02 Z ,  B32B27/10 ,  B32B27/00 M
Fターム (27件):
4F100AK25 ,  4F100AK32 ,  4F100AK42 ,  4F100AK51 ,  4F100AK73 ,  4F100AL01 ,  4F100AS00E ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10C ,  4F100CA02 ,  4F100CA30 ,  4F100CB05B ,  4F100CB05D ,  4F100DG10 ,  4F100DG10C ,  4F100EH46 ,  4F100EJ42 ,  4F100GB41 ,  4F100JK06C ,  4F100JK14 ,  4F100JK16 ,  4J004AB01 ,  4J004DB02 ,  4J004DB04 ,  4J004EA05
引用特許:
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る