特許

J-GLOBAL ID：201503023099572720

厚さ測定装置

発明者： 中谷 貴之
出願人/特許権者： 倉敷紡績株式会社
代理人 (1件)： 河原 哲郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-152237
公開番号（公開出願番号）：特開2015-021911
出願日： 2013年07月23日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：

【課題】微弱な蛍光を検出可能でありながら、光センサからの伝熱による測定精度の悪化およびシンチレータの劣化を抑制することが可能なフィルム等の厚さ測定装置を提供する。【解決手段】X線源20と、被測定物が挿入される空間14’を挟んで前記X線源20に相対する検出部30とを備え、前記検出部30は、X線を受光するシンチレータ40と、前記シンチレータ40と空隙dを介して配置され、前記シンチレータ40からの蛍光を受光する光センサ50とを有する厚さ測定装置10である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線源と、 被測定物が挿入される空間を挟んで前記X線源に相対する検出部とを備え、 前記検出部は、 X線を受光するシンチレータと、 前記シンチレータと空隙を介して配置され、前記シンチレータからの蛍光を受光する光センサとを有する、 厚さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 15/02 ,  G01T 1/20

FI (3件)：

G01B15/02 A ,  G01T1/20 L ,  G01T1/20 E

Fターム (21件)：

2F067AA27 ,  2F067BB01 ,  2F067BB17 ,  2F067CC08 ,  2F067DD09 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067LL03 ,  2F067LL14 ,  2F067LL17 ,  2F067RR31 ,  2G188AA27 ,  2G188BB02 ,  2G188CC17 ,  2G188CC22 ,  2G188CC23 ,  2G188DD05 ,  2G188DD11 ,  2G188DD13 ,  2G188DD38