特許
J-GLOBAL ID：201503024586885790
力学量センサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-029912
公開番号（公開出願番号）：特開2015-092200
出願日： 2015年02月18日
公開日（公表日）： 2015年05月14日
要約：
【課題】信頼性のより高い力学量センサーを提供する。【解決手段】基板に固定されたアンカーおよび固定電極と、前記アンカーと前記固定電極の間において前記基板から離れて形成され、前記固定電極と接触すると前記固定電極と導通する可動電極と、前記アンカーに一端が接続され、前記可動電極に他端が接続され、前記基板から離れて形成されたビームとを有し、前記ビームは、複数の直線ビームと前記複数の直線ビームのうち隣接する2つの直線ビームの長手方向を異ならせて前記2つの直線ビームを接続するビーム接続部とを有する力学量センサーを提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板に固定されたアンカーおよび固定電極と、
前記アンカーと前記固定電極との間において前記基板から離れて形成され、前記固定電極と接触すると前記固定電極と導通する可動電極と、
前記アンカーに一端が接続され、前記可動電極に他端が接続され、前記基板から離れて形成されたビームとを有し、
前記ビームは、
複数の直線ビームと、
前記複数の直線ビームのうち隣接する2つの直線ビームの長手方向を異ならせて前記2つの直線ビームを接続するビーム接続部とを有し、
前記複数の直線ビームは、前記アンカーからの距離が大きくなるにしたがって、長さが大きくなり、
全体としてジグザグ形状または九十九折り形状を有する、力学量センサー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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