特許

J-GLOBAL ID：201503025221703524

薄膜製造装置、電気機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

発明者： 竹内 惇 ,  町田 治 ,  下福 光
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-133879
公開番号（公開出願番号）：特開2015-012010
出願日： 2013年06月26日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：

【課題】雰囲気中の水分と反応しやすい機能性インクの吐出において、ノズル開口での目詰まりの発生を防止し、良好な吐出を維持可能な薄膜製造装置を提供する。【解決手段】薄膜製造装置は、基板を保持するステージと、ステージに対向して配置され、水と反応性を有する機能性インクをインクジェット法によりノズルから吐出して基板上に塗布する液体吐出ヘッド208と、液体吐出ヘッド208の吐出面208aをキャッピングするキャップ部材60とを少なくとも備え、キャッピングにより密閉されたキャップ部材内部60aの雰囲気の湿度が調整される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を保持するステージと、 前記ステージに対向して配置され、水と反応性を有する機能性インクをインクジェット法によりノズルから吐出して前記基板上に塗布する液体吐出ヘッドと、 前記液体吐出ヘッドの吐出面をキャッピングするキャップ部材とを少なくとも備え、 キャッピングにより密閉された前記キャップ部材内部の雰囲気の湿度が調整されることを特徴とする薄膜製造装置。

IPC (15件)：

H01L 41/318 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/113 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  G01P 15/09 ,  G01C 19/562 ,  F04B 43/04 ,  B81B 3/00

FI (13件)：

H01L41/318 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/43 ,  H01L41/113 ,  H01L27/10 444C ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  G01P15/09 D ,  G01C19/56 128 ,  F04B43/04 B ,  B81B3/00

Fターム (43件)：

2C057AG12 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  3C081AA13 ,  3C081BA25 ,  3C081BA43 ,  3C081BA44 ,  3C081BA45 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  3C081EA08 ,  3C081EA15 ,  3C081EA21 ,  3C081EA32 ,  3C081EA33 ,  3C081EA35 ,  3H077AA06 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE25 ,  3H077FF04 ,  3H077FF36 ,  5F083FR01 ,  5F083GA27 ,  5F083JA15 ,  5F083JA36 ,  5F083JA38 ,  5F083KA01 ,  5F083KA05 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34