特許

J-GLOBAL ID：201503025418113591

銅または銅を主成分とする化合物のエッチング液

発明者： 玉井 聡 ,  夕部 邦夫 ,  岡部 哲
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
代理人 (6件)： 特許業務法人 津国 ,  津国 肇 ,  柳橋 泰雄 ,  伊藤 佐保子 ,  小澤 圭子 ,  田中 洋子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012066533
公開番号（公開出願番号）：WO2013-005631
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：

本発明は、(A)マレイン酸イオン供給源と、(B)銅イオン供給源とを含有することを特徴とする、銅または銅を主成分とする化合物のエッチング液、およびこれを用いたエッチング方法に関する。

請求項（抜粋）：

(A)マレイン酸イオン供給源と、(B)銅イオン供給源とを含有することを特徴とする、銅または銅を主成分とする化合物のエッチング液。

IPC (3件)：

C23F 1/18 ,  C23F 1/26 ,  H05K 3/06

FI (3件)：

C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H05K3/06 N

Fターム (15件)：

4K057WA18 ,  4K057WA20 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE11 ,  4K057WN01 ,  5E339AB05 ,  5E339AD01 ,  5E339BC02 ,  5E339BE11 ,  5E339BE17 ,  5E339CE12 ,  5E339CF15 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17