特許
J-GLOBAL ID:201503025491556949
面発光レーザ素子及び原子発振器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-050392
公開番号(公開出願番号):特開2015-008271
出願日: 2014年03月13日
公開日(公表日): 2015年01月15日
要約:
【課題】波長の異なるレーザ光を出射する面発光レーザ素子において、面発光レーザにおける電気的な特性等を均一にする。【解決手段】半導体基板111上に半導体結晶成長により形成された下部ブラッグ反射鏡112と、前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層114を含む共振器領域と、前記共振器領域上に形成された第2の上部ブラッグ反射鏡と、前記第2の上部ブラッグ反射鏡123の上に形成された波長調整領域と、前記波長調整領域の上に形成された第1の上部ブラッグ反射鏡と、を有し、前記波長調整領域は、前記第2の上部ブラッグ反射鏡が設けられている側から順に、第2の位相調整層117、コンタクト層118、第1の位相調整層121、波長調整層122の順で形成されており、前記波長調整層は、2種類以上の材料を積層することにより形成されており、波長調整層の光学厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
半導体基板上に半導体結晶成長により形成された下部ブラッグ反射鏡と、
前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器領域と、
前記共振器領域上に形成された第2の上部ブラッグ反射鏡と、
前記第2の上部ブラッグ反射鏡の上に形成された波長調整領域と、
前記波長調整領域の上に形成された第1の上部ブラッグ反射鏡と、
を有し、
前記波長調整領域は、前記第2の上部ブラッグ反射鏡が設けられている側から順に、第2の位相調整層、コンタクト層、第1の位相調整層、波長調整層の順で形成されており、
前記波長調整層は、2種類以上の材料を積層することにより形成されており、
前記波長調整領域の光学厚さが略(2N+1)×λ/4(N=1,2,,,)であり、
前記第1の位相調整層の光学厚さが略N×λ/2(N=1,2,,,)であって、
一方の電極が、前記コンタクト層の上に形成されており、
前記波長調整層の光学厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有していることを特徴とする面発光レーザ素子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AC14
, 5F173AC26
, 5F173AC35
, 5F173AC42
, 5F173AC52
, 5F173AD06
, 5F173AH03
, 5F173AP05
, 5F173AP09
, 5F173AP32
, 5F173AP37
, 5F173AR62
, 5F173AR81
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