特許
J-GLOBAL ID：201503025641223137
形状測定装置及び形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田国際特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012073367
公開番号（公開出願番号）：WO2013-051382
出願日： 2012年09月12日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】光学式プローブとステージとの相対位置及び姿勢誤差を高精度に検出して、ワークの形状を高精度に測定することを可能にする形状測定装置を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置は、ワークWが載置される載置面11を有するステージ10と、光軸Lに直交する直交面21を有し、載置面11に載置されたワークWの形状を測定する光学式プローブ20と、載置面11に対向する基準面51を有する基準部材50と、基準面51に対する載置面11の傾き及び基準面51から載置面11までの距離を検出する第1の検出部52,53,54と、基準面51に対する直交面21の傾き及び基準面51から直交面21までの距離を検出する第2の検出部55,56,57と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークが載置される載置面を有するステージと、
光軸に直交する直交面を有し、前記載置面に載置された前記ワークの形状を測定する光学式プローブと、
前記載置面に対向する基準面を有する基準部材と、
前記基準面に対する前記載置面の傾き及び前記基準面から前記載置面までの距離を検出する第1の検出部と、
前記基準面に対する前記直交面の傾き及び前記基準面から前記直交面までの距離を検出する第2の検出部と、
を有する形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA37
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD03
, 2F065EE05
, 2F065FF55
, 2F065GG04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065LL12
, 2F065MM03
, 2F065MM07
, 2F065PP12
, 2F065QQ28
, 2F065QQ42
, 2F065TT02
, 2F065UU04
