特許
J-GLOBAL ID：201503025746986780
アルミニウム基板ディスク上に改良された研磨線を提供するための装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
早川 裕司
, 村雨 圭介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-550231
公開番号（公開出願番号）：特表2015-503457
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：
【解決手段】 アルミニウム基板ディスク上に研磨線を確立するための研磨装置であって、中央回転可能シャフトと、回転可能な周囲リングと、一対の円形研磨プレートと、複数のキャリアプレートと、を備え、一対の円形研磨プレートの各々は、中央回転可能シャフトの周りに位置することができるボアホールを含み、他方に対して且つ/又は中央回転可能シャフトに対して独立して自由に回転するものであり、複数のキャリアプレートは一対の円形研磨プレートの間に挟まれるように構成され、各キャリアプレートは、アルミニウムディスクの上面及び下面が円形研磨プレートの各々と接触可能なようにアルミニウム基板ディスクを収容可能な一連のポケットを含み、中央回転可能シャフト、周囲リング及び複数のキャリアプレートは、それらの環状縁に沿って一連の歯及び/又はギアを含むことで遊星ギアを確立し、アルミニウム基板ディスクが内部に置かれるキャリアプレートへ回転を付与する能力が結果として楕円十字形研磨線パターンをもたらすように、中央回転可能シャフト、周囲リング及び複数のキャリアプレートの各々に対してある程度の回転を増加させ且つ付与する研磨装置。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
アルミニウム基板ディスク上に研磨線を確立するための研磨装置であって、
中央回転可能シャフトと、
回転可能な周囲リングと、
一対の円形研磨プレートと、
複数のキャリアプレートと、を備え、
前記一対の円形研磨プレートの各々は、前記中央回転可能シャフトの周りに位置することができる中央ボアホールを含み、他方に対して且つ/又は前記中央回転可能シャフトに対して独立して自由に回転するものであり、
前記複数のキャリアプレートは前記一対の円形研磨プレートの間に挟まれるように構成され、各キャリアプレートは、アルミニウム基板ディスクの上面及び下面が前記円形研磨プレートの各々と接触可能なように前記アルミニウム基板ディスクを収容可能な一連のポケットを含み、
前記中央回転可能シャフト、前記周囲リング及び前記複数のキャリアプレートは、それらの環状縁に沿って一連の歯及び/又はギアを含むことで遊星ギアを確立し、前記アルミニウム基板ディスクが内部に置かれる前記キャリアプレートへ回転を付与する能力が結果として楕円十字形研磨線パターンをもたらすように、前記中央回転可能シャフト、前記周囲リング及び前記複数のキャリアプレートの各々に対してある程度の回転を増加させ且つ付与する研磨装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
3C158AA07
, 3C158AA09
, 3C158AA18
, 3C158AB08
, 3C158CA04
, 3C158CB01
, 3C158EA02
, 3C158EB01
