特許

J-GLOBAL ID：201503026086363757

ジンバル式走査ミラーアレイ

発明者： チャヤト ナフタリ ,  ゲルソン ユヴァル
出願人/特許権者： アップル インコーポレイテッド
代理人 (4件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-501021
公開番号（公開出願番号）：特表2015-514228
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
要約：

光学走査デバイス(64)は、2つ以上の平行なマイクロミラー(102)のアレイ(100)及びマイクロミラーを取り囲む支持体(72)を画定するためにエッチングされた基板(68)を含む。それぞれのスピンドル(106)がマイクロミラーを支持体に接続し、結果として支持体に対するマイクロミラーのそれぞれの平行な回転軸が画定される。1つ以上のフレキシブル連結部材(108)は、マイクロミラーの振動がそれぞれの軸周りに対して同期するようにマイクロミラーと接続されている。

請求項（抜粋）：

基板を備える光学走査デバイスであって、前記基板は、 2つ以上の平行なマイクロミラーのアレイと、 前記マイクロミラーを取り囲む支持体と、 前記マイクロミラーを前記支持体に接続し、結果として前記支持体に対する前記マイクロミラーのそれぞれの平行な回転軸を画定する、それぞれのスピンドルと、 前記マイクロミラーと接続されてそれぞれの前記軸周りに前記マイクロミラーの振動を同期させるための1つ以上のフレキシブル連結部材と、を画定するためにエッチングされている、デバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/04

FI (3件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81B7/04

Fターム (23件)：

2H141MA11 ,  2H141MB24 ,  2H141MB63 ,  2H141MC04 ,  2H141MD13 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD32 ,  2H141MD38 ,  2H141MF22 ,  2H141MF28 ,  2H141MG05 ,  2H141MZ19 ,  3C081AA09 ,  3C081AA11 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA51 ,  3C081BA54 ,  3C081BA72 ,  3C081DA03 ,  3C081EA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置および画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-080810   出願人：セイコーエプソン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• micro-mirror arrays using elastic linkages