特許
J-GLOBAL ID:201503026247458850
反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 櫻井 智
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-514971
特許番号:特許第5672376号
出願日: 2012年04月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 入射光を拡散反射する標準部材と、
測定対象である試料に照射される照明光の第1光路上の第1校正位置と、前記第1校正位置から退避した第1位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第1反射部材と、
前記第1光路上の第2校正位置と、前記第2校正位置から退避した第2位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第2反射部材とを備え、
前記第1反射部材は、前記第1校正位置に配置されている時に、前記照明光を前記標準部材へ反射する第1姿勢であり、
前記第2反射部材は、前記第2校正位置に配置されている時に、前記標準部材で反射した前記照明光の拡散反射光を、前記試料で反射した前記照明光の反射光の第2光路と重なるように、反射する第2姿勢であり、
前記試料を測定するための位置として予め設定された測定平面と前記標準部材の拡散反射面とは、前記第1反射部材を対称面とした光学的に対称な関係であること
を特徴とする反射特性測定装置用光学系。
IPC (3件):
G01N 21/27 ( 200 6.01)
, G01J 3/50 ( 200 6.01)
, G01J 3/02 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01N 21/27 B
, G01N 21/27 F
, G01J 3/50
, G01J 3/02 C
引用特許:
出願人引用 (6件)
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光センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-117407
出願人:三井金属鉱業株式会社
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特開昭52-078484
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特開昭63-088430
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審査官引用 (6件)
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光センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-117407
出願人:三井金属鉱業株式会社
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特開昭52-078484
-
特開昭63-088430
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