特許
J-GLOBAL ID:201503026756284756
圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
日向寺 雅彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-196065
公開番号(公開出願番号):特開2015-059927
出願日: 2013年09月20日
公開日(公表日): 2015年03月30日
要約:
【課題】高感度の圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、支持部と、支持部に支持され上面を有し変形可能な膜部と、上面上に設けられた検知素子と、を含む圧力センサが提供される。検知素子は、膜部の変形に応じて磁化が変化する第1磁性層と、第1磁性層と離間する第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた部分を含む中間層を含む中間部と、を含む。第1磁性層は、上面に対して平行な第1方向に延在し、第1方向の第1磁性層の第1長軸長は、上面に対して平行で第1方向と交差する方向の第1磁性層の第1短軸長よりも長い。第2磁性層は、上面に対して平行で第1方向と交差する第2方向に延在し、第2方向の第2磁性層の第2長軸長は、上面に対して平行で第2方向と交差する方向の第2磁性層の第2短軸長よりも長い。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持部と、
前記支持部に支持され上面を有し変形可能な膜部と、
前記上面上に設けられた第1検知素子と、
を備え、
前記第1検知素子は、
前記膜部の変形に応じて磁化が変化する第1磁性層と、
前記上面に対して交差する方向において前記第1磁性層と離間する第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた部分を含む第1中間層を含む第1中間部と、
を含み、
前記第1磁性層は、前記上面に対して平行な第1方向に延在し、前記第1方向の前記第1磁性層の第1長軸長は、前記上面に対して平行で前記第1方向と交差する方向の前記第1磁性層の第1短軸長よりも長く、
前記第2磁性層は、前記上面に対して平行で前記第1方向と交差する第2方向に延在し、前記第2方向の前記第2磁性層の第2長軸長は、前記上面に対して平行で前記第2方向と交差する方向の前記第2磁性層の第2短軸長よりも長い圧力センサ。
IPC (6件):
G01L 9/16
, G01L 1/12
, G01L 5/00
, H04R 15/00
, A61B 5/022
, G06F 3/041
FI (9件):
G01L9/16
, G01L1/12
, G01L5/00 101Z
, H04R15/00
, A61B5/02 333Z
, G06F3/041 350C
, G06F3/041 360A
, G06F3/041 330G
, G06F3/041 330A
Fターム (15件):
2F051AB05
, 2F051BA07
, 2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055DD05
, 2F055EE29
, 2F055FF11
, 2F055GG11
, 4C017AA08
, 4C017AB02
, 4C017AC40
, 5B068BB36
, 5B087CC43
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特許第5235964号
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特許第5677258号
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特許第5940639号
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