特許

J-GLOBAL ID：201503026843612220

インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法およびパターン

発明者： 榎本 雄一郎 ,  児玉 邦彦 ,  樽谷 晋司 ,  北川 浩隆 ,  大松 禎
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-167695
公開番号（公開出願番号）：特開2013-062489
特許番号：特許第5710553号
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)および重量平均分子量が500以上の非重合性の重合体で、25°Cで液体である潤滑剤(C)を含有するインプリント用硬化性組成物であって、該インプリント用硬化性組成物に対する前記潤滑剤(C)の溶解が発熱的であることを特徴とするインプリント用硬化性組成物。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01) ,  C08F 2/00 ( 200 6.01) ,  C08F 2/48 ( 200 6.01) ,  C08F 220/24 ( 200 6.01) ,  C08F 220/38 ( 200 6.01) ,  C08F 220/18 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01L 21/30 502 D ,  B29C 59/02 ZNM Z ,  C08F 2/00 C ,  C08F 2/48 ,  C08F 220/24 ,  C08F 220/38 ,  C08F 220/18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-045061   出願人：富士フイルム株式会社
• パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-141585   出願人：富士フイルム株式会社

審査官引用 (2件)

• ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-045061   出願人：富士フイルム株式会社
• パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-141585   出願人：富士フイルム株式会社