特許
J-GLOBAL ID:201503027252558665

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012083879
公開番号(公開出願番号):WO2013-105449
出願日: 2012年12月27日
公開日(公表日): 2013年07月18日
要約:
簡易な構成で、従来よりもガスの検出感度を向上し得るガスセンサを提案する。イオン液体(IL)中にゲート絶縁層を備える電気二重層が形成されており、ガスを吸収することにより生じるイオン液体(IL)のゲート絶縁層の状態変化が、直接、カーボンナノチューブ(8)を流れるソースドレイン電流(Isd)に反映されるので、従来よりもガスの検出感度を向上し得る。また、単に、カーボンナノチューブ(8)とゲート電極(7)とに接するようにイオン液体(IL)を基板(2)上に設ければよいことから、従来のようにカーボンナノチューブを複数のポリマー表面化学修飾する構成が不要になり、その分だけ簡易な構成とすることができる。
請求項(抜粋):
検出対象となるガスを検出するガスセンサであって、 基板上のソース電極及びドレイン電極間に設けられ、ソースドレイン電流が流れるカーボンナノチューブと、 前記カーボンナノチューブを覆うように配置されたガス吸収液体とを備え、 前記ガス吸収液体が前記ガスを吸収することにより前記カーボンナノチューブに生じるソースドレイン電流の変化に基づいて前記ガスを検出する ことを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
G01N 27/00
FI (1件):
G01N27/00 J
Fターム (8件):
2G060AA02 ,  2G060AB07 ,  2G060AB09 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060BA07 ,  2G060DA12

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