特許
J-GLOBAL ID:201503027252558665
ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012083879
公開番号(公開出願番号):WO2013-105449
出願日: 2012年12月27日
公開日(公表日): 2013年07月18日
要約:
簡易な構成で、従来よりもガスの検出感度を向上し得るガスセンサを提案する。イオン液体(IL)中にゲート絶縁層を備える電気二重層が形成されており、ガスを吸収することにより生じるイオン液体(IL)のゲート絶縁層の状態変化が、直接、カーボンナノチューブ(8)を流れるソースドレイン電流(Isd)に反映されるので、従来よりもガスの検出感度を向上し得る。また、単に、カーボンナノチューブ(8)とゲート電極(7)とに接するようにイオン液体(IL)を基板(2)上に設ければよいことから、従来のようにカーボンナノチューブを複数のポリマー表面化学修飾する構成が不要になり、その分だけ簡易な構成とすることができる。
請求項(抜粋):
検出対象となるガスを検出するガスセンサであって、
基板上のソース電極及びドレイン電極間に設けられ、ソースドレイン電流が流れるカーボンナノチューブと、
前記カーボンナノチューブを覆うように配置されたガス吸収液体とを備え、
前記ガス吸収液体が前記ガスを吸収することにより前記カーボンナノチューブに生じるソースドレイン電流の変化に基づいて前記ガスを検出する
ことを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
2G060AA02
, 2G060AB07
, 2G060AB09
, 2G060AF07
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060BA07
, 2G060DA12
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