特許
J-GLOBAL ID：201503027257853606
高次横モード波を抑制した弾性波デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 原 裕子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-524280
特許番号：特許第5697751号
出願日： 2012年03月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電基板と、当該圧電基板上に形成される少なくとも1組のIDT電極と、当該圧電基板および当該IDT電極の少なくとも一部を被覆する誘電体膜を備える弾性波デバイスであって、
前記IDT電極は、バスバーおよび当該バスバーから延伸する複数の電極指を有し、一方の前記IDT電極の各電極指は、他方の前記IDT電極の電極指と交互に並ぶよう配置され、
前記誘電体膜は、少なくとも前記電極指が交互に並ぶ領域を被覆し、
前記領域のうち前記電極指の先端から所定長さ以上内側の部分である交差領域における弾性波の音速は、当該交差領域に隣接する部分であって前記電極指の先端部を含む部分であるエッジ領域における弾性波の音速よりも速く、
前記誘電体膜として、前記少なくとも前記電極指が交互に並ぶ領域を被覆する第1の誘電体膜と、当該第1の誘電体膜上に形成され、前記エッジ領域をさらに被覆する第2の誘電体膜とを備え、
前記第2の誘電体膜の音速は、前記第1の誘電体膜の音速より遅く、
前記第1の誘電体膜の材質は、二酸化ケイ素であり、
前記第2の誘電体膜の材質は、五酸化二タンタルである、弾性波デバイス。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H03H 9/145 C
, H03H 9/145 Z
